產(chǎn)品中心

          Product Center

          磁控濺射儀

          產(chǎn)品簡(jiǎn)介

          KT-Z1650PVD是一款小型臺式濺射功率可控磁控濺射儀,儀器雖小功能齊全,配備有電壓 電流反饋,樣品臺旋轉,樣品高度調節,及電動(dòng)擋板功能。通過(guò)定時(shí)調節預濺射功率及薄膜沉積功率,可對大部分金屬進(jìn)行均勻物理沉積,真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染,樣品臺可旋轉以獲得更均勻的薄膜,可制備各種金屬薄膜。

          產(chǎn)品型號:
          更新時(shí)間:2024-03-27
          廠(chǎng)商性質(zhì):生產(chǎn)廠(chǎng)家
          訪(fǎng)問(wèn)量:6971
          品牌助藍科技濺射氣體詳詢(xún)
          樣品臺尺寸詳詢(xún)mm控制方式詳詢(xún)
          樣品倉尺寸詳詢(xún)mm靶材尺寸詳詢(xún)mm
          靶材材質(zhì)詳詢(xún)價(jià)格區間面議
          產(chǎn)地類(lèi)別國產(chǎn)應用領(lǐng)域電子

          KT-Z1650PVD是一款小型臺式濺射功率可控磁控濺射儀,儀器雖小功能齊全,配備有電壓 電流反饋,樣品臺旋轉,樣品高度調節,及電動(dòng)擋板功能。通過(guò)定時(shí)調節預濺射功率及薄膜沉積功率,可對大部分金屬進(jìn)行均勻物理沉積,真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染,樣品臺可旋轉以獲得更均勻的薄膜,可制備各種金屬薄膜。

               目前公司已研發(fā)生產(chǎn)產(chǎn)品十多個(gè)系列幾十款產(chǎn)品,產(chǎn)品囊括實(shí)驗電爐   CVD供氣系統   等離子清洗機   小型離子濺射儀   磁控濺射儀 石英管真空封口   半導體檢測等。 主要適用于科研院校及工礦企業(yè)在新材料、新能源等領(lǐng)域物理特性及化學(xué)特性的研究,廣銷(xiāo)于各大院校,及材料研究所。

               公司與國內高校,科研院所有多層次的合作關(guān)系,建有開(kāi)放實(shí)驗室,相關(guān)領(lǐng)域的教授、高級工程師、博士參與公司產(chǎn)品的研究和開(kāi)發(fā)。我們秉承公司的發(fā)展理念,依靠嚴謹的技術(shù)研發(fā)能力,科學(xué)合理的生產(chǎn)工藝,精益求精的制造要求,全心全意做好產(chǎn)品質(zhì)量和服務(wù)工作,科探儀器時(shí)刻懷著(zhù)一顆真誠的心期待與您的合作。



          控制方式

          7寸人機界面 手動(dòng) 自動(dòng)模式切換控制

          濺射電源

          40KHz濺射電源

          鍍膜功能

          0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

          大功率

          ≤1000W

          大輸出電壓電流

          電壓≤1000V  電流≤1A

          極限真空

          機械泵 ≤5Pa(5分鐘)   分子泵≤5*10^-3Pa

          濺射真空

          ≤30Pa

          擋板類(lèi)型

          電控

          真空腔室

          石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm

          樣品臺

          可旋轉φ62  (大可安裝φ50基底)

          樣品臺轉速

          8轉/分鐘

          樣品濺射源調節距離

          40-105mm

          真空測量

          皮拉尼真空計(已安裝 測量范圍10E5Pa  1E-1Pa)

          預留真空接口

          KF25抽氣口    KF16放氣口   6mm卡套進(jìn)氣口





           

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